一分彩app 富乐德长江半导体苦求晶圆再生阵势中Pattern膜的无损害化学机械剥离方法及环保溶剂体系专利, 幸免硅基底损害

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发布日期:2026-03-02 11:01    点击次数:159

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国度学问产权局信息涌现,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司苦求一项名为“晶圆再生阵势中Pattern膜的无损害化学机械剥离方法及环保溶剂体系”的专利,公开号CN121586455A,苦求日历为2025年11月。

专利选录涌现,本苦求波及半导体制造与材料回收技艺范围,公开了一种晶圆再生阵势中Pattern膜的无损害化学机械剥离方法及环保溶剂体系,旨在措置现存技艺在高效去除氮化类膜、阻抗类膜和金属类膜时存在的不及。该方法包括:将待处理晶圆轮番浸入阻抗类膜去除药液、氮化类膜去除药液和金属类膜去除药液中进行化学处理,随后进行机械研磨处理,并在每个要领后扩充超纯水冲洗与甩干操作。该系统包括阻抗类膜去除单位、氮化类膜去除单位、金属类膜去除单位、机械研磨单位和清洗干燥单位。本苦求通过采用上述技艺决策,大约终了对复合Pattern膜结构的高效、澈底剥离,援手晶圆再生良率,减少开拓故障率,幸免硅基底损害,一分彩app并适应绿色环保设施。

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天眼查贵寓涌现,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司,建筑于2019年,位于铜陵市,是一家以从事通用开拓制造业为主的企业。企业注册老本123009.7159万东说念主民币。通过天眼查大数据分析,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司参与招投标阵势12次,财产踪迹方面有商标信息13条,专利信息172条,此外企业还领有行政许可35个。

声明:市集有风险,投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不组成个东说念主投资提倡。

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本文源自:市集资讯